Tecnología de microsistemas

Tecnología de fabricación de microsistemas: componentes mecánicos u ópticos a escala microscópica, que a menudo se combinan para formar unidades, sobre todo, con sistemas también microelectrónicos. Ejemplos: microsensores, microcalefactores. Las estructuras de la tecnología de microsistemas suelen crearse utilizando los procedimientos de trabajo de la microelectrónica, por ejemplo, creación de serpentines de calefacción como pistas conductoras o grabado de componentes mecánicos con los métodos de la estructuración de semiconductores (ver LIGA). La tecnología del plasma puede utilizarse de diversas maneras en la tecnología de microsistemas: limpieza de superficies antes del recubrimiento, sputtering, deposición de vapor, unión por hilo, grabado de lacas fotosensibles, grabado profundo de pistas metálicas en semiconductores, recubrimiento de protección (hidrófobo, antioxidante) de estructuras acabadas.