Tecnologia dei microsistemi

Tecnologia usata per la produzione di microsistemi, componenti meccanici o ottici su scala microscopica, spesso combinati per formare delle unità, in particolare con sistemi microelettronici. Alcuni esempi: microsensori, microriscaldatori. Le strutture della microtecnologia sono spesso create con i metodi utilizzati nel campo della microelettronica, ad esempio l'installazione di bobine di riscaldamento analogamente a quella delle piste conduttive o l'acidatura di componenti meccanici con i metodi di strutturazione dei semiconduttori (cfr. LIGA). La tecnologia del plasma è utilizzabile in vari modi nella tecnologia dei microsistemi: pulizia delle superfici prima del rivestimento, sputtering, vaporizzazione, bonding, acidatura di fotoresistenze, acidatura profonda in semiconduttori rivestimento protettivo (idrofobico, antiossidante) di strutture finite.