Rapporto dimensionale

Per rapporto di dimensionale si intende il rapporto altezza/larghezza delle microstrutture. Mediante processi anisotropi di acidatura al plasma (⇒ Acidatura ionica IE ⇒ Acidatura ionica reattiva (RIE) si possono ottenere grandi proporzioni tra profondità e larghezza della cavità o altezza e larghezza del nastro pari 10 o maggiori. Proporzioni estremamente grandi di 50 e più con larghezze di struttura di 0,2 µm e oltre possono essere ottenute utilizzando il procedimento LIGA .

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