Rapport d'aspect

Par rapport d'aspect on entend le rapport de hauteur/largeur de microstructures. Grâce à des processus de gravure plasma anisotropes (⇒ gravure ionique IE et ⇒ gravure ionique réactive (RIE) , il est possible d'obtenir de grands rapports d'aspect entre la profondeur et la largeur d'une tranchée ou d'une largeur et hauteur de barrette de 10 et plus. Pour l'obtention de rapports d'aspect extrêmement grands de 50 et plus pour des largeurs de structures à partir de 0,2µm, il est possible de recourir au procédé LIGA .