Размерное соотношение

неизотропных методов плазменного травления (⇒ Ионное травление IE и ⇒ Реактивное ионное травление RIE ) обеспечивается высокое размерное соотношение между глубиной и шириной канавки либо высотой и шириной перемычки в 10 единиц и более. Крайне высокие размерные соотношения в 50 единиц и более при ширине структуры начиная с 0,2 мкм можно получить методом LIGA .