Relación de aspecto

Por relación de aspecto, se entiende la relación entre altura y anchura en microestructuras. Mediante procedimientos de grabado con plasma anisotrópico (⇒ Grabado iónico [IE]⇒ Grabado iónico reactivo [RIE]), es posible conseguir grandes relaciones de aspecto, de 10 o más, entre la profundidad y la anchura de zanja o entre la altura y la anchura de perfil. El procedimiento LIGA permite lograr relaciones de aspecto enormes, superiores a 50, con anchuras de estructura a partir de 0,2 µm.

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