Acidatura chimica

Asportazione di materiale da un substrato per reazione chimica. Nell’acidatura chimica a umido per reazione di un agente liquido (acido, alcalino, solvente) con le molecole del substrato. L’acidatura chimica a secco avviene nel plasma per reazione della specie attiva (atomi eccitati, radicali, ioni) con le molecole del substrato. Il gas di processo deve essere compatibile con il substrato (processo di acidatura selettiva), il processo di acidatura non è orientato (isotropo). Di seguito, i prodotti volatili derivanti dall’acidatura vengono aspirati.