Grabado químico

Extracción de material de un sustrato por reacción química. En el grabado químico en húmedo, un medio líquido de grabado (ácido, álcali, disolvente) reacciona con las moléculas del sustrato. El grabado químico en seco se efectúa en el plasma mediante la reacción de especies activas (átomos, radicales e iones excitados) con las moléculas del sustrato. El gas del proceso debe concordar con el sustrato (proceso de grabado selectivo); el grabado carece de dirección (es isotrópico). Los productos volátiles resultantes del grabado se evacuan por bombeo.