Gravure chimique

Enlèvement de matière d'un substrat par réaction chimique. Dans la gravure chimique humide par réaction d'un agent de gravure liquide (acide, solution alcaline, solvant) avec les molécules du substrat. La gravure chimique sèche s'effectue dans le plasma par réaction d'espèces actives ( atomesexcités, radicaux, ions) avec les molécules du substrat. Le gaz de traitement doit être adapté au substrat (procédé de gravure sélective), le procédé de gravure n'est pas dirigé (isotrope). Les produits de gravure volatils qui en résultent sont pompés.