Химическое травление

молекулами субстрата.Сухое химическое травление выполняется в плазме под действием реакции активных частиц (возбужденные атомы, радикалы, ионы) с молекулами субстрата. Технологический газ должен соответствовать субстрату (селективное травление), процесс травления ненаправленный (изотропный). Возникающие летучие продукты травления откачиваются.