Turbomolekularpumpe

Die Turbomolekular-Pumpe, manchmal vereinfachend als Turbopumpe bezeichnet, ist eine Ultrahochvakuumpumpe für extrem niedrige Enddrücke bis zu 10^-10 mbar). Der in einer Anlage tatsächlich erzielbare Druck hängt von der Leckrate der Bauteile und von der Ausgasung der Bauteile im Rezipienten ab. Eine Turbomolekularpumpe besteht aus Serien von hintereinander angeordneten Statoren und Rotoren, vergleichbar einem Düsentriebwerk. Die Drehzahlen von Turbomolekular-Pumpen betragen einige 10000 U/min. Da das Saugvermögen von Turbopumpen mit steigendem Druck sinkt, können sie nur in Verbindung mit einer Vorpumpe, z. B. einer Drehschieberpumpe, betrieben werden. In Plasma-Anlagen kommen Turbomolekular-Pumpen immer dann zum Einsatz, wenn sehr niedrige Drücke gefordert sind, die von Pumpen anderer Bauart (Drehschieber, Roots) nicht erreicht werden.