Pompa turbomolecolare

La pompa turbomolecolare, a volte definita semplicemente turbopompa, è una pompa per vuoto ultraelevato per pressioni finali estremamente basse, fino a 10^-10 mbar). La pressione effettivamente possibile in un impianto dipende dal grado di perdita dei componenti e dalla degassificazione dei componenti nel recipiente . Una pompa turbomolecolare è costituita da una serie di statori e rotori disposti in sequenza, simili a quelli di un motore a reazione. Il numero di giri delle pompe turbomolecolari è di diverse decine di migliaia al minuto. Poiché la capacità di pompaggio delle turbopompe diminuisce con l'aumentare della pressione, esse possono essere azionate solo in combinazione con una pompa di supporto, ad esempio una pompa a palette rotativa. Le pompe turbomolecolari vengono utilizzate negli impianti al plasma quando sono necessarie pressioni molto basse, non raggiungibili da altri tipi di pompe (a palette rotative, tipo "roots”).