Pompe turbomoléculaire

La pompe turbomoléculaire, parfois simplement appelée turbopompe, est une pompe à ultravide pour des pressions finales extrêmement basses jusqu'à 10^-10 mbars). La pression pouvant être effectivement atteinte dans une installation dépend du taux de fuite des composants et du dégazage des composants dans le récipient. Une pompe turbomoléculaire se compose d'une série de stators et de rotors disposés les uns derrière les autres, un peu comme un réacteur. Les vitesses des pompes turbomoléculaires sont de plusieurs 10000 tr/min. Vu que la capacité de pompage de turbopompes diminue avec l'augmentation de la pression, elles ne peuvent être utilisées qu'en combinaison avec une pompe primaire, telle p. ex. qu'une pompe à palettes. Des pompes turbomoléculaires sont toujours utilisées dans les systèmes plasma lorsqu'il s'agit de débiter de très faibles pressions ne pouvant pas être atteintes par d'autres types de pompes (pompes à palettes, roots).