Турбомолекулярный насос

сверхвысоковакуумным насосом для предельно низких конечных давлений до 10^-10 мбар). Фактическое достигаемое в установке давление зависит от утечек на деталях и выделения газа деталями в реципиенте. Турбомолекулярный насос состоит из серий последовательно расположенных статоров и роторов, что сравнимо с реактивным двигателем. Частота вращения турбомолекулярных насосов составляет несколько десятков тысяч оборотов в минуту. Всасывающая способность турбонасосов снижается по мере повышения давления, поэтому они эксплуатируются только в сочетании с форвакуумным насосом, например пластинчатым насосом. В плазменных установках турбомолекулярный насос используется при потребности в очень низких давлениях, не достижимых другими насосами.