Bomba turbomolecular
La bomba turbomolecular, a veces abreviada como turbobomba, es una bomba de vacío ultraalto para presiones finales extremadamente reducidas, de hasta 10–10 mbar. La presión que puede alcanzarse realmente en un sistema depende de la tasa de fugas de los componentes y de la desgasificación de los componentes del recipiente. Una bomba turbomolecular consta de series de estátores y rotores dispuestos uno detrás del otro, de modo similar a un motor de reacción. Las bombas turbomoleculares alcanzan unas velocidades de varias decenas de miles de revoluciones por minuto. Dado que la capacidad de aspiración de las turbobombas disminuye a medida que aumenta la presión, solamente pueden funcionar en combinación con una bomba previa, p. ej., una bomba rotativa de paletas. En los sistemas de plasma, pueden emplearse bombas turbomoleculares siempre que se exijan presiones extremadamente bajas, que no consigan bombas de otros tipos (bomba rotativa de paletas, bomba Roots).
