Sputterätzer

Anlage, die das auf dem Sputtereffekt (physikalisches Ätzen, abstäuben bzw. durch Ionenbombardement induiertes herausschlagen von Atomen aus der Festkörperoberfläche) beruhende Trockenätzen nutzt, um die Randschicht bzw. Fremdschichten sukzessive abzutragen.