Schutzschicht

Beschichtung auf empfindlichen Substraten, um sie insbesondere vor mechanischer Beschädigung, chemischen Einwirkungen oder Witterungseinflüssen einschließlich Strahlung zu schützen.

Viele derartige Schutzschichten können durch Plasmatechnik aufgebracht werden.

Um insbesondere Kunststoffoberflächen kratzfest zu machen, können DLC -Schichten aufgebracht werden.

Durch Plasmapolymerisation können insbesondere elektronische Schaltungen insgesamt mit einer Schutzschicht überzogen werden, insbesondere, um sie vor Feuchtigkeit oder Oxidation zu schützen.

Als Schutzbeschichtung für elektronische Schaltungen spielen Parylene-Beschichtungen eine zunehmend wichtige Rolle.

Metalle versehen sich selbst mit einer Schutzschicht in Form einer dünnen, aber harten und stabilen Oxidschicht. Solche Oxidschichten können auch gezielt durch Oxidation im Luft- oder Sauerstoffplasma aufgebracht werden. Andererseits können Oxidschichten auf Metallen auch durch Plasmabehandlung im Wasserstoffplasma entfernt werden (siehe auch ⇒ Plasmareinigen).