Lexikon der Oberflächentechnik
Nadelventil
Die Zufuhr des Prozessgases wird bei Diener electronic Plasmaanlagen durch Nadelventile geregelt. Beim Nadelventil drückt eine kegelförmige Spitze gegen eine Ringdichtung vor einer Auslassöffnung.
Die Zufuhr des Prozessgases wird bei Diener electronic Plasmaanlagen durch Nadelventile geregelt. Beim Nadelventil drückt eine kegelförmige Spitze gegen eine Ringdichtung vor einer Auslassöffnung.
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