Lexikon der Oberflächentechnik
CCRF
Kapazitiv gekoppeltes Hochfrequenz (Capacitively Coupled Radio Frequency) Plasma.
Plasma-Anregungsverfahren im RF-Bereich (13,56 MHz) findet, je nach Anwendungsgebiet, Einsatz in verschiedensten Plasmaanlagen.
Kapazitiv gekoppeltes Hochfrequenz (Capacitively Coupled Radio Frequency) Plasma.
Plasma-Anregungsverfahren im RF-Bereich (13,56 MHz) findet, je nach Anwendungsgebiet, Einsatz in verschiedensten Plasmaanlagen.
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