Tetra 150

Systèmes plasma basse pression

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Les systèmes plasma Tetra 150 sont utilisés principalement dans les secteurs suivants :

  • Archéologie
  • Automobile
  • Bioechnologie
  • Technologie de l'élastomère
  • Électrotechnique
  • Microscopie électronique
  • Mécanique de précision
  • Recherche et développement
  • Technologie des semi-conducteurs
  • Production en petites séries
  • Plasturgie
  • Technologie médicale
  • Technologie des microsystèmes
  • Cellules photovoltaïques
  • Ingénierie textile

Divers modèles

Modèle 1

Modèle 1, système standard
commande PC BASIC dans l'appareil de base type A
Chambre sous vide, rectangulaire, acier inoxydable, porte à charnière,
(larg. : 400 mm, P : 625 mm, H : 600 mm)
Alimentation en gaz : 
MFC

Modèle 2

Modèle 2, système standard
commande FULL PC dans l'appareil de base type A
Chambre sous vide, rectangulaire, acier inoxydable, porte à charnière,
(larg. : 400 mm, P : 625 mm, H : 600 mm)
Alimentation en gaz :
MFC

Modèle 3

Modèle 3, système de polymérisation plasma
commande PC BASIC dans l'appareil de base type A
(larg. 600 mm x P 800 mm x H 2.100 mm)
Chambre sous vide, rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
(larg. : 400 mm, P : 625 mm, H : 600 mm)
Alimentation en gaz :
MFC

Modèle 4

Modèle 4, système pour gaz corrosif (p. ex. pour gaz de processus fluorés)
commande FULL PC dans l'appareil de base type A
(larg. 600 mm x P 800 mm x H 2.100 mm)
Chambre sous vide, rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
(larg. : 400 mm, P : 625 mm, H : 600 mm)
Alimentation en gaz :
MFC

Modèle 5

Modèle 5, système de polymérisation plasma
commande PC BASIC dans l'appareil de base type A
(larg. 600 mm x P 800 mm x H 2.100 mm)
Chambre sous vide, rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
(larg. : 400 mm, P : 625 mm, H : 600 mm)
Alimentation en gaz :
vanne à aiguille

Modèle 6

Modèle 6, système de polymérisation plasma
commande FULL PC dans l'appareil de base type A
(larg. 600 mm x P 800 mm x H 2.100 mm)
Chambre sous vide, rectangulaire, acier inoxydable, porte à charnière,
(larg. : 400 mm, P : 625 mm, H : 600 mm)
Alimentation en gaz :
vanne à aiguille

Caractéristiques techniques

Équipement de base

  • Les dimensions de boîtiers varient en fonction des composants/options
  • Volume de chambre : 150 litres, suivant la version
  • Alimentation en tension : 230 V ou 400 V / 3 phases

Alimentation en gaz

  • Débitmètres massiques (Mass-Flow-Controller (MFCs))

Chambres sous vide

  • Acier inoxydable rectangulaire, porte à charnière (larg. 400 mm x H 600 mm x P 625 mm)
  • Chambre alu rectangulaire (larg. 400 mm x H 600 mm x P 625 mm)

Chargement

  • Support de pièce (option : refroidissement à eau), récipients en verre de quartz, tambour rotatif pour poudres, tambour rotatif pour pièces en vrac, tôle d'aluminium, tôle en acier inoxydable, verre borosilicate, verre de quartz

Électrodes

  • Un ou plusieurs niveaux
  • Électrode RIE avec douche de gaz

Systèmes de commande

  •     Commande PCCE (Microsoft Windows CE)
  •     Commande PC (Microsoft Windows 10 IoT)

Mesure de pression

  • Pirani
  • Manomètre capacitif (pour version gaz corrosif)

Minuterie

  • intégrée dans le PC

Générateurs

Fréquences :  

  • 80 kHz : puissance 1000 ou 3000 W
  • 13,56 MHz : puissance 0 - 300 W ; 0 - 600 W ; 0 - 1000 W
  • 2,45 GHz : puissance 0 - 1200 W

Tous les générateurs sont progressivement réglables de 0 à 100 %

Pompes à vide

  • En plusieurs tailles et provenant de différents fabricants (avec filtre à charbon actif, si nécessaire)

Autres options

Kits de pièces de rechanges, Manomètre, Version gaz corrosifs, Bouteilles de gaz, Réducteur de pression, Plaque de chauffe, Indicateur de température, Chambre chauffante, Cage de Faraday, Accessoires pour polymérisation plasma, Encres de test, Générateur d'oxygène, Aération lente, Pompage lent, Bride porte-échantillon MET, Maintenance/Service, Documentation dans la langue nationale, Installation sur site y compris formation. Autres options sur demande.

+49 7458 99931-0

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