Tetra 150

Плазменные установки низкого давления (Plasmacleaner)

Плазменные системы Tetra 150 могут комбинироваться в различных вариантах по типу модульной системы. Ниже приводится описание самых распространенных опций в сочетании с системами Tetra 150.

Сделать запрос

 

Плазменные системы Tetra 150 используются преимущественно в следующих областях:

  • Археология
  • Автомобилестроение
  • Биотехнологии
  • Технологии эластомеров
  • Электротехника
  • Электронная микроскопия
  • Точная механика
  • Исследование и разработка
  • Полупроводниковая техника
  • Мелкосерийное производство
  • Технология пластмасс
  • Медицинская техника
  • Микросистемная техника
  • Технология солнечных элементов
  • Текстильные технологии

Различные модели

Модель 1

Модель 1, стандартная установка
Система управления BASIC PC в базовом устройстве типа A
Вакуумная камера прямоугольной формы, высококачественная сталь, дверца на петлях,
(Ш: 400 мм, Г: 625 мм, В: 400 мм)
Подача газа: 
MFC

Модель 2

Модель 2, стандартная установка
Система управления FULL PC в базовом устройстве типа A
Вакуумная камера прямоугольной формы, высококачественная сталь, дверца на петлях,
(Ш: 400 мм, Г: 625 мм, В: 600 мм)
Подача газа:
MFC

Модель 3

Модель 3, стандартная установка
Система управления BASIC PC в базовом устройстве типа A
(Ш 600 мм x Г 800 мм x В 2100 мм)
Вакуумная камера прямоугольной формы, высококачественная сталь, дверца на петлях,
(Ш: 400 мм, Г: 625 мм, В: 600 мм)
Подача газа:
MFC

Модель 4

Модель 4, версия для коррозионных газов (напр., для фторосодержащих технологических газов)
Система управления FULL PC в базовом устройстве типа A
(Ш 600 мм x Г 800 мм x В 2100 мм)
Вакуумная камера прямоугольной формы, высококачественная сталь, дверца на петлях,
(Ш: 400 мм, Г: 625 мм, В: 600 мм)
Подача газа:
MFC

Модель 5

Модель 5, установка для плазменной полимеризации
Система управления BASIC PC в базовом устройстве типа A
(Ш 600 мм x Г 800 мм x В 2100 мм)
Вакуумная камера прямоугольной формы, высококачественная сталь, дверца на петлях
(Ш: 400 мм, Г: 625 мм, В: 600 мм)
Подача газа:
Игольчатый клапан

Модель 6

Модель 6, установка для плазменной полимеризации
Система управления FULL PC в базовом устройстве типа A
(Ш 600 мм x Г 800 мм x В 2100 мм)
Вакуумная камера прямоугольной формы, высококачественная сталь, дверца на петлях
(Ш: 400 мм, Г: 625 мм, В: 600 мм)
Подача газа:
Игольчатый клапан

Возможности плазменной обработки

Очистка материалов

Плазменная техника предлагает решения для удаления любого вида загрязнений, обработки любого субстрата и любого способа дополнительной обработки. В процессе очистки снимаются даже молекулярные следы загрязнений.

ПОДРОБНЕЕ ОБ ОЧИСТКЕ

Активация материалов

Обязательным условием для надлежащей адгезии связывающих компонентов при окрашивании, склеивании, нанесении методом печати и приварке является хорошая смачиваемость поверхности.

ПОДРОБНЕЕ ОБ АКТИВАЦИИ

Травление материалов

Плазменная техника позволяет осуществлять неизотропное и изотропное травление. Изотропное травление выполняется путем химического травления, неизотропное травление – путем физического.

ПОДРОБНЕЕ О ТРАВЛЕНИИ

Нанесение покрытий на материалы

Плазма низкого давления используется для нанесения различных покрытий на заготовки. В этом процессе газообразные и жидкие исходные материалы подаются в вакуумную камеру.

ПОДРОБНЕЕ О НАНЕСЕНИИ ПОКРЫТИЙ

Технические характеристики

Базовое оснащение

  • Размеры корпусов варьируются в зависимости от компонентов/опций
  • Объем камеры: 150 литров (в зависимости от версии)
  • Электропитание: 230 В или 400 В / 3 фазы

Подача газа

  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Вакуумные камеры

  • Высококачественная сталь, прямоугольная форма, дверца на петлях (Ш 400 мм x В 600 мм x Г 625 мм)
  • Алюминиевая камера прямоугольной формы (Ш 400 мм x В 600 мм x Г 625 мм)

Загрузка

  • Носители материала (опция: водяное охлаждение), лодочки из кварцевого стекла, вращающиеся барабаны для порошка, вращающиеся барабаны для насыпных материалов, алюминиевый лист, стальной лист, боросиликатное или кварцевое стекло

Электроды

  • Одно- или многоярусные
  • Электрод RIE с газовым душем

Системы управления

  •     PCCE (Microsoft Windows CE)
  •     Компьютерная система управления (Microsoft Windows 10 IoT)

Измерение давления

  • Датчик Пирани
  • Емкостный манометр (исполнение для коррозионных газов)

Таймер

  • Интегрирован в ПК

Генераторы

Частоты:  

  • 80 кГц: мощность 1000 Вт или 3000 Вт
  • 13,56 МГц: мощность 0 - 300 Вт; 0 - 600 Вт; 0 - 1000 Вт
  • 2,45 ГГц: мощность 0 - 1200 Вт

Все генераторы с бесступенчатой регулировкой 0 - 100 %

Вакуумные насосы

  • Разных размеров и разных производителей (при необходимости с угольным фильтром)

Опции

Комплекты запчастей, измеритель давления, исполнение для коррозионных газов, газовые баллоны, редукторы давления, нагревательная пластина, индикатор температуры, обогреваемая камера, клетка Фарадея, аксессуары для плазменной полимеризации, тестовые чернила, генератор кислорода, медленная подача воздуха, медленная откачка, фланец для проб TEM, техническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны эксплуатации, монтаж и обучение на месте эксплуатации. Другие опции по запросу.

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете