Pico

Плазменные установки низкого давления (Plasmacleaner)

Плазменные установки Pico могут комбинироваться в различных вариантах по типу модульной системы. Ниже приводится описание самых распространенных опций в сочетании с плазменными системами Pico. Системы Pico используются преимущественно в следующих областях:

  • Аналитика (REM, TEM)
  • Археология
  • Автомобилестроение
  • Отделы исследований и разработок
  • Полупроводниковая техника
  • Мелкосерийное производство
  • Технология пластмасс
  • Медицинская техника
  • Микросистемная техника
  • Сенсорная техника
  • Стерилизация
  • Текстильные технологии

Возможности плазменной обработки

Очистка материалов

Плазменная техника предлагает решения для удаления любого вида загрязнений, обработки любого субстрата и любого способа дополнительной обработки. В процессе очистки снимаются даже молекулярные следы загрязнений.

ПОДРОБНЕЕ ОБ ОЧИСТКЕ

Активация материалов

Обязательным условием для надлежащей адгезии связывающих компонентов при окрашивании, склеивании, нанесении методом печати и приварке является хорошая смачиваемость поверхности.

ПОДРОБНЕЕ ОБ АКТИВАЦИИ

Травление материалов

Плазменная техника позволяет осуществлять неизотропное и изотропное травление. Изотропное травление выполняется путем химического травления, неизотропное травление – путем физического.

ПОДРОБНЕЕ О ТРАВЛЕНИИ

Нанесение покрытий на материалы

Плазма низкого давления используется для нанесения различных покрытий на заготовки. В этом процессе газообразные и жидкие исходные материалы подаются в вакуумную камеру.

ПОДРОБНЕЕ О НАНЕСЕНИИ ПОКРЫТИЙ

Технические характеристики

Базовое оснащение

  •     Размеры корпусов варьируются в зависимости от компонентов/опций
  •     Объем камеры: 4 - 15 литров (в зависимости от версии)
  •     Электропитание: 230 В для настольного устройства, 400 В / 3 фазы для напольного устройства

Подача газа

  •     Игольчатые клапаны
  •     Mass-Flow-Controller (MFCs)

Вакуумные камеры

  •     Высококачественная сталь, круглая форма, с крышкой (прибл. ∅ 150 мм, длина 320 мм или 600 мм)
  •     Высококачественная сталь, прямоугольная форма, дверца на петлях (Ш 160 мм x В 160 мм x Г 325 мм или 600 мм)
  •     Алюминий, прямоугольная форма, дверца на петлях (прибл. ∅ 160 мм x 160 мм , длина 325 мм или 600 мм)
  •     Кварцевое стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 130 мм, длина 300 мм или 600 мм)
  •     Боросиликатное стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 130 мм, длина 300 мм или 600 мм)

Загрузка

  • Носители материала (опция: водяное охлаждение), лодочки из кварцевого стекла, вращающиеся барабаны для порошка, вращающиеся барабаны для насыпных материалов, алюминиевый лист, стальной лист, боросиликатное или кварцевое стекло 

Электроды

  •     Одно- или многоярусные
  •     RIE

Система управления

  •     Полуавтоматика
  •     PCCE (Microsoft Windows CE)
  •     Компьютерная система управления (Microsoft Windows POS Ready 2009)
  •     Поворотный переключатель

Измерение давления

  •     Датчик Пирани
  •     Емкостный манометр (исполнение для коррозионных газов)

Таймер

  • Цифровой

Генераторы

Частоты:    

  • 40 кГц: мощность 0 - 200 Вт; 0 -1000 Вт
  • 100 кГц: мощность 500 Вт
  • 80 кГц: мощность 1000 Вт
  • 13,56 МГц: мощность  0 - 100 Вт; 0 - 300 Вт
  • 2,45 ГГц: мощность 0 - 300 Вт

Все генераторы с бесступенчатой регулировкой 0 - 100 %  

Вакуумные насосы

  • Разных размеров и разных производителей (при необходимости с угольным фильтром)

Опции

Комплекты запчастей, измеритель давления, исполнение для коррозионных газов, газовые баллоны, редукторы давления, нагревательная пластина, индикатор температуры, обогреваемая камера, клетка Фарадея, аксессуары для плазменной полимеризации, тестовые чернила, генератор кислорода, медленная подача воздуха, медленная откачка, фланец для проб TEM, техническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны эксплуатации, монтаж и обучение на месте эксплуатации. Другие опции по запросу

МОДЕЛИ PICO

Просмотр моделей Pico

Просмотр моделей Pico

Просмотр моделей Pico

+49 (0)7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете