Revêtement PTFE

Si l'on utilise un gaz de traitement à base de fluoromonomères tels que le tétrafluorométhane (CF₄), les radicaux du plasma basse pression peuvent facilement se polymériser. Les polymères PTFE qui en résultent se condensent sur la surface du substrat. Les surfaces enduites sont hydrophobes et lipophiles. Elles ont une faible friction et une faible abrasion lorsqu'elles sont frottées contre d'autres surfaces.
Le revêtement PTFE permet l'épilamisation des surfaces devant être lubrifiées à l'huile. L'épilamisation empêche le film d'huile de s'écouler.