Rivestimento in PTFE

Se si utilizza un gas di processo a base di fluoromeri, ad esempio il tetrafluorometano (CF₄), i radicali possono polimerizzare facilmente nel plasma a bassa pressione . I polimeri PTFE risultanti si condensano sulla superficie del substrato. Le superfici rivestite sono idrofobiche e lipofobiche. Esse presentano un basso attrito di scorrimento e una scarsa abrasione a contatto con altre superfici.
Con il rivestimento in PTFE si ottiene l’epilamizzazione delle superfici da trattare con lubrificazione a olio. L’epilamizzazione previene la deliquescenza del film d'olio.