PTFE-Beschichten

Wird ein Prozessgas auf Basis von Fluormonomeren, beispielsweise Tetrafluormethan (CF4) eingesetzt, so können die Radikale im Niederdruckplasma leicht polymerisieren. Die entstehenden PTFE-Polymere kondensieren auf der Substratoberfläche.

Die beschichteten Oberflächen sind hydrophob und lipophob. Sie haben bei Reibung gegen andere Oberflächen eine geringe Gleitreibung und einen geringen Abrieb.
Durch PTFE-Beschichtung erreicht man eine Epilamisierung von Oberflächen, die ölgeschmiert werden sollen. Die Epilamisierung verhindert das Zerfließen des Ölfilms.

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