Lexikon der Oberflächentechnik
PTFE-Beschichten
Wird ein Prozessgas auf Basis von Fluormonomeren, beispielsweise Tetrafluormethan (CF4) eingesetzt, so können die Radikale im Niederdruckplasma leicht polymerisieren. Die entstehenden PTFE-Polymere kondensieren auf der Substratoberfläche.
Die beschichteten Oberflächen sind hydrophob und lipophob. Sie haben bei Reibung gegen andere Oberflächen eine geringe Gleitreibung und einen geringen Abrieb.
Durch PTFE-Beschichtung erreicht man eine Epilamisierung von Oberflächen, die ölgeschmiert werden sollen. Die Epilamisierung verhindert das Zerfließen des Ölfilms.
