Recubrimiento con PTFE
Si se utiliza un gas de proceso basado en fluoromonómeros, por ejemplo, tetrafluorometano (CF4), los radicales pueden polimerizar fácilmente en el plasma de baja presión. Los polímeros de PTFE resultantes se condensan en la superficie del sustrato. Las superficies recubiertas son hidrófobas y lipófobas. En caso de fricción con otras superficies, muestran una fricción cinética y una abrasión reducidas.
El recubrimiento con PTFE permite lograr la epilamización de superficies que requieren lubricación con aceite. La epilamización impide que la película de aceite se desplace.