Graveur plasma

En général, il est possible d'utiliser des systèmes plasma basse pression pour divers processus plasma. Un système plasma peut être optimisé ou utilisé pour la gravure plasma. Il s'agit de préférence d'un système équipé de l'option couplage micro-ondes car des vitesses de gravure particulièrement élevées et un processus de gravure très sélectif sont possibles par excitation par micro-ondes. Un système plasma optimisé et utilisé en conséquent est souvent appelé graveur plasma.