Plasmaetcher (acidatore al plasma)

In generale, gli impianti al plasma a bassa pressione possono essere utilizzati per diversi processi al plasma . Un impianto al plasma può essere ottimizzato o applicato per l'acidatura al plasma . L’impianto dovrebbe essere dotato preferibilmente dell'opzione di accoppiamento a microonde , che rende possibili velocità di acidatura particolarmente elevate e un processo di acidatura molto selettivo con eccitazione a microonde. Un impianto al plasma ottimizzato è quindi spesso definito plasmaetcher.