Устройство плазменного травления

плазменные установки низкого давления могут применяться в различных плазменных процессах. Плазменная установка может быть оптимизирована для плазменного травления. Предпочтительны установки, оснащенные опцией микроволновой подачи энергии, т.к. микроволновое возбуждение позволяет значительно повысить скорость травления и выполнять селективную обработку. Соответствующим образом оптимизированную и применяемую установку называют устройством плазменного травления.