Grabador de plasma

En general, los sistemas de plasma de baja presión pueden utilizarse para procesos con plasma de diversa índole. Un sistema de plasma puede estar optimizado para el grabado con plasma, o simplemente ser apto para tal fin. Preferiblemente, se trata de un sistema equipado con la opción de acoplamiento de microondas, puesto que la excitación de microondas permite conseguir tasas de grabado especialmente altas y un proceso de grabado muy selectivo. Los sistemas de plasma utilizados y optimizados para dicha tarea reciben, con frecuencia, el nombre de "grabadores de plasma".

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