Plasmaasher

Mediante l'acidatura gli idrocarburi vengono rimossi molto bene nel plasma di ossigeno. Questo effetto viene utilizzato nella pulizia al plasma per rimuovere i residui polimerici superficiali come cere, siliconi, oli e grassi.
Possono essere rimossi senza lasciare tracce anche interi strati di plastica polimerica. Ad esempio, l'intero componente polimerico di un materiale composito può essere rimosso per l'analisi, esponendo il componente inorganico puro. Questo processo viene utilizzato nei test dei materiali, per esaminare i singoli componenti. Un processo di questo tipo è denominato "incenerimento" (ashing). Tuttavia, l'applicazione più importante dell'incenerimento è la rimozione senza residui degli strati di fotoresist in seguito a processo fotolitografico nel campo della microelettronica. Un Plasmaasher (inceneritore di plasma) è un impianto al plasma a bassa pressione concepito o predisposto per i processi di incenerimento.

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