Incinerador de plasma

El grabado en el plasma de oxígeno permite descomponer hidrocarburos con gran eficacia. Este efecto se utiliza en la limpieza con plasma para eliminar contaminación superficial por polímeros, como ceras, siliconas, aceites y grasas.
No obstante, también pueden eliminarse capas enteras de polímeros plásticos sin dejar restos. Por ejemplo, en un material compuesto, puede retirarse todo el componente polimérico para su análisis y liberar el componente inorgánico puro. Un proceso de este tipo sirve para estudiar los diferentes componentes en el ensayo de materiales. Este proceso recibe el nombre de incineración (ashing). Sin embargo, la aplicación principal de la incineración radica en la eliminación, sin dejar restos, de capas de laca fotosensible tras un proceso fotolitográfico, en el ámbito de la microelectrónica. Un incinerador de plasma es un sistema de plasma de baja presión diseñado para desarrollar procesos de incineración, o equipado con los componentes necesarios a tal efecto.

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