Ashing plasmatique

La gravure en plasma d'oxygène permet de très bien éliminer des hydrocarbures. Cet effet est utilisé dans le nettoyage au plasma pour éliminer les contaminants de surface polymères tels que les cires, les silicones, les huiles et les graisses.
Cependant, des couches entières de plastique polymérique peuvent être également enlevées sans laisser de résidus. Par exemple, sur un matériau composite tous les composants polymères peuvent être retirés pour analyse et le composant inorganique pur dégagé. Un tel processus est utilisé dans les essais de matériaux pour examiner les composants individuels. Un tel processus est appelé ashing. Cependant, l'application la plus importante de l'ashing consiste à éliminer sans résidus des couches de photoréserve après un processus photolithographique en microélectronique. Un ashing plasmatique est un système plasma basse pression conçu ou équipé pour des processus d'ashing.

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