Magnetron

Un magnetron è un tubo elettronico impiegato per generare radiazioni a microonde. Nella tecnologia del plasma un magnetron è utilizzato per l'eccitazione a microonde di plasma a bassa pressione con rilascio di frequenza HF di 2,45 GHz . Il magnetron si trova sempre all'esterno della camera del plasma (recipiente). L'eccitazione del plasma avviene tramite accoppiamento a microonde ad es. attraverso una finestra di vetro in quarzo.

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