Glossaire de la technologie de surface

Magnétron

Un magnétron est un tube électronique utilisé pour générer un rayonnement micro-ondes. Dans la technologie plasma, un magnétron est utilisé pour l'excitation par micro-ondes de plasma basse pression avec la fréquence HF libérée de 2,45 GHz. Le magnétron est toujours situé à l'extérieur de la chambre à plasma (récipient). L'excitation du plasma s'effectue par couplage micro-ondes, par exemple à travers une fenêtre en verre de quartz.

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