Магнетрон

плазменной технике магнетрон используется для микроволнового возбуждения плазмы низкого давления с выделенной высокой частотой 2,45 ГГц . Магнетрон всегда находится за пределами плазменной камеры (реципиента). Плазма возбуждается под действием микроволновой подачи энергии , например, через окно из кварцевого стекла.