Glosario de tecnología de superficies
Magnetrón
Un magnetrón es un tubo de electrones que sirve para generar radiación de microondas. En la tecnología del plasma, se emplea un magnetrón para la excitación de microondas del plasma de baja presión a la frecuencia de AF autorizada de 2,45 GHz. El magnetrón siempre se encuentra fuera de la cámara de plasma (recipiente). El plasma se excita por acoplamiento de microondas, p. ej., a través de una ventana de cuarzo.