Maschera

Pellicola strutturata o rivestimento su una superficie o substrato. La struttura della maschera permette il trattamento locale del substrato. Nella microelettronica, le maschere con le strutture più fini vengono prodotte prevalentemente per fotolitografia. Le rotture nello strato fotoresistente permettono di trattare il substrato in particolare con acidatura ionica reattiva (RIE). La maschera di fotoresist viene rimossa con acidatura al plasma dopo la strutturazione.

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