Máscara

Lámina o recubrimiento estructurado sobre una superficie o un sustrato. La estructura de la máscara permite tratar lugares concretos del sustrato. En microelectrónica, se crean máscaras con estructuras superfinas, principalmente, mediante fotolitografía. El sustrato se trata a través de las aberturas de la capa de laca fotosensible; en particular, durante el grabado iónico reactivo (RIE). La propia máscara de laca fotosensible se elimina tras la estructuración por medio de grabado con plasma.

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