Lessico della tecnologia delle superfici
Accoppiamento a microonde
La radiazione a microonde (2,45 MHz) non è generata da elettrodi come per le frequenze di eccitazione inferiori, ma da un magnetron. Esso si trova sempre all'esterno del plasma vero e proprio e immette la sua radiazione nella camera del plasma attraverso una finestra di vetro in quarzo. Questo processo di generazione del plasma è denominato accoppiamento a microonde.
