Микроволновая подача энергии

2,45 ГГц) в отличие от низких частот возбуждения создается не электродами , а магнетроном. Магнетрон всегда находится за пределами самой плазмы и подает свое излучение через окно из кварцевого стекла в плазменную камеру . Этот метод создания плазмы называют микроволновой подачей энергии.