Couplage micro-ondes

Le rayonnement micro-ondes (2,45 GHz) n'est pas généré par des électrodes comme ceci en est le cas pour les fréquences d'excitation plus faibles. mais par un magnétron. Le magnétron est toujours situé à l'extérieur du plasma proprement dit et envoie son rayonnement à travers une fenêtre en verre de quartz dans la chambre à plasma . Ce processus de génération de plasma est appelé couplage par micro-ondes.

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