Acoplamiento de microondas

A diferencia de las frecuencias de excitación inferiores, la radiación de microondas (2,45 MHz) no se genera mediante electrodos, sino por medio de un magnetrón. El magnetrón siempre se encuentra fuera del plasma propiamente dicho. Su radiación penetra en la cámara de plasma a través de una ventana de cuarzo. Este procedimiento de generación de plasma se denomina acoplamiento de microondas.