Microtecnología
Fabricación y modificación de dimensiones estructurales de entre 0,1 µm y 1000 µm. Para modificar tales estructuras, ya no se ofrecen los métodos mecánicos normales. Por ejemplo, se trabaja con los métodos de la fotolitografía y del grabado con plasma (DRIE; RIE). Principales ámbitos de uso de la microtecnología:
- Microelectrónica: fabricación de estructuras en semiconductores y pistas conductoras, en particular, mediante procedimientos fotolitográficos.
- Microóptica: producción de componentes ópticos, como redes de difracción, ranuras y microlentes.
- Micromecánica: producción de piezas funcionales mecánicas, como ruedas dentadas, engranajes completos o ejes, con los métodos de fabricación de la microelectrónica.
- Creación de estructuras microfluídicas para análisis químicos, biológicos y médicos, con canales, bombas y válvulas de tamaños inferiores a 1 mm (lab on a chip).
- Fabricación de moldes para el vertido o el moldeo por inyección de componentes micromecánicos, por ejemplo, en disposiciones microfluídicas.
Dado que unir piezas microtecnológicas en disposiciones complejas suele resultar muy complicado, se intenta crear sistemas multifuncionales a partir de un solo componente, por ejemplo, obtener las funciones mecánica y eléctrica de un microinterruptor eléctrico a partir de un sustrato de silicio. La tecnología de integración de componentes microtecnológicos se denomina tecnología de microsistemas.
