Microtecnología

Fabricación y modificación de dimensiones estructurales de entre 0,1 µm y 1000 µm. Para modificar tales estructuras, ya no se ofrecen los métodos mecánicos normales. Por ejemplo, se trabaja con los métodos de la fotolitografía y del grabado con plasma (DRIE; RIE). Principales ámbitos de uso de la microtecnología:

• Microelectrónica: fabricación de estructuras en semiconductores y pistas conductoras, en particular, mediante procedimientos fotolitográficos.
• Microóptica: producción de componentes ópticos, como redes de difracción, ranuras y microlentes.
• Micromecánica: producción de piezas funcionales mecánicas, como ruedas dentadas, engranajes completos o ejes, con los métodos de fabricación de la microelectrónica.
• Creación de estructuras microfluídicas para análisis químicos, biológicos y médicos, con canales, bombas y válvulas de tamaños inferiores a 1 mm (lab on a chip).
• Fabricación de moldes para el vertido o el moldeo por inyección de componentes micromecánicos, por ejemplo, en disposiciones microfluídicas.

Dado que unir piezas microtecnológicas en disposiciones complejas suele resultar muy complicado, se intenta crear sistemas multifuncionales a partir de un solo componente, por ejemplo, obtener las funciones mecánica y eléctrica de un microinterruptor eléctrico a partir de un sustrato de silicio. La tecnología de integración de componentes microtecnológicos se denomina tecnología de microsistemas.