Microtechnique

Réalisation et traitement de dimensions structurales entre 0,1 µm et 1000 µm. Des méthodes d'usinage mécanique normales ne sont plus disponibles pour l'usinage de telles structures. Le travail s'effectue par exemple par photolithographie et gravure au plasma (DRIE ; RIE). Les principaux domaines d'application de la microtechnique sont les suivants :

• Micro-électronique : réalisation de structures en semi-conducteurs et pistes, en particulier par des méthodes photolithographiques .
• Microoptique : production de composants optiques tels que réseaux de diffraction, fentes, microlentilles
• Micromécanique : fabrication de pièces mécaniques fonctionnelles telles que pignons, engrenages entiers, axes à l'aide des méthodes de fabrication de la microélectronique.
• Réalisation de structures microfluidiques pour analyses chimiques, biologiques et médicales avec canaux, pompes, vannes de dimensions inférieures à 1 mm (Lab-on-Chip).
• Fabrication de moules pour la coulée ou le moulage par injection de composants micromécaniques, par exemple d'ensembles microfluidiques

Vu qu'il est souvent très difficile d'assembler des composants microtechniques dans des arrangements complexes, on tente de créer des systèmes multifonctionnels à partir d'un seul composant, par exemple le fonctionnement mécanique et électrique d'un microrupteur électrique à partir d'un substrat en silicium. La technologie d'intégration des composants microtechniques est appelée technologie des microsystèmes.