Microtechnik
Herstellung und Bearbeitung von Strukturdimensionen zwischen 0,1 µm und 1000 µm. Normale mechanische Bearbeitungsmethoden stehen zur Bearbeitung solcher Strukturen nicht mehr zur Verfügung. Es wird beispielsweise mit den Methoden der Fotolithographie und Plasma-Ätzverfahren (DRIE; RIE) gearbeitet.
Die wichtigsten Einsatzgebiete der Mikrotechnik sind
- Mikroelektronik: Herstellung von Strukturen in Halbleitern und Leiterbahnen, insbesondere durch fotolithografische Verfahren.
- Mikrooptik: Herstellung optische Bauelemente wie Beugungsgitter, Spalte, Mikrolinsen
- Mikromechanik: Herstellung mechanischer Funktionsteile wie Zahnräder, ganze Getriebe, Achsen mit den Herstellungsmethoden der Mikroelektronik.
- Herstellung mikrofluider Strukturen für chemische, biologische und medizinische Analysen mit Kanälen, Pumpen, Ventilen in Dimensionen von weniger als 1 mm (Lab-on-Chip)
- Herstellung von Formwerkzeugen zum Gießen oder Spritzgießen von mikromechanischen Bauteilen, beispielsweise von mikrofluiden Anordnungen
Da bei komplexen Anordnungen ein Zusammenfügen von mikrotechnischen Einzelteilen oft sehr schwierig ist, versucht man, multifunktionale Systeme aus einem Bauelement zu erzeugen, beispielsweise mechanische und elektrische Funktion eines elektrischen Mikroschalters aus einem Siliziumsubstrat. Man bezeichnet die Technologie der Integration mikrotechnischer Komponenten als Microsystemtechnik.
