Microtecnica

Produzione e lavorazione di dimensioni strutturali comprese tra 0,1 µm e 1000 µm. Per la lavorazione di tali strutture non sono più sufficienti i normali metodi di lavorazione meccanica. Vengono utilizzati ad esempio i metodi della fotolitografia e processi di acidatura al plasma, (DRIE; RIE). I campi di applicazione più importanti della microtecnologia sono

  • Microelettronica: produzione di strutture in semiconduttori e piste conduttive, soprattutto mediante processo fotolitografico .
  • Microottica: produzione di componenti ottici quali reticoli di diffrazione, fenditure, microlenti.
  • Micromeccanica: produzione di componenti meccanici funzionali quali ruote dentate, ingranaggi completi e assali con metodi di produzione microelettronici.
  • Produzione di strutture microfluidiche per analisi chimiche, biologiche e mediche con canali, pompe, valvole di dimensioni inferiori a 1 mm (lab-on-chip)
  • Fabbricazione di stampi per la fusione o lo stampaggio ad iniezione di componenti micromeccanici, ad esempio di assemblaggi microfluidici.

Data la difficoltà di assemblare componenti microtecnici in configurazioni complesse, si cercano di creare sistemi multifunzionali da un singolo componente, ad esempio la funzione meccanica ed elettrica di un microinterruttore elettrico da un substrato di silicio. La tecnologia di integrazione di componenti microtecnici è denominata tecnologia dei microsistemi.

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