Микротехника

фотолитографии и травления плазмой (DRIE; RIE). Основные области применения микротехники:

• Микроэлектроника: изготовление структур в полупроводниках и проводящих полосках, в частности фотолитографическими методами.
• Микрооптика: изготовление оптических элементов – дифракционных решеток, микролинз и т.д.
• Микромеханика: изготовление механических функциональных компонентов, например шестерен, передаточных механизмов и осей, производственными методами микроэлектроники.
• Изготовление микрофлюидных структур для химических, биологических и медицинских анализов с каналами, насосами и вентилями размерами менее 1 мм (Lab-on-Chip)
• Изготовление формовочных инструментов для литья или литья под давлением микромеханических деталей

Ввиду сложности соединения микротехнических деталей в комплексные схемы производители пытаются создавать многофункциональные системы из одного элемента, например это механические и электрические функции одного электрического микровыключателя из кремниевого субстрата. Технологию интеграции микротехнических компонентов называют микросистемной техникой.