Микротехника

фотолитографии и травления плазмой (DRIE; RIE). Основные области применения микротехники:

  • Микроэлектроника: изготовление структур в полупроводниках и проводящих полосках, в частности фотолитографическими методами.
  • Микрооптика: изготовление оптических элементов – дифракционных решеток, микролинз и т.д.
  • Микромеханика: изготовление механических функциональных компонентов, например шестерен, передаточных механизмов и осей, производственными методами микроэлектроники.
  • Изготовление микрофлюидных структур для химических, биологических и медицинских анализов с каналами, насосами и вентилями размерами менее 1 мм (Lab-on-Chip)
  • Изготовление формовочных инструментов для литья или литья под давлением микромеханических деталей

Ввиду сложности соединения микротехнических деталей в комплексные схемы производители пытаются создавать многофункциональные системы из одного элемента, например это механические и электрические функции одного электрического микровыключателя из кремниевого субстрата. Технологию интеграции микротехнических компонентов называют микросистемной техникой.

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете