Технологический газ

плазмы смесь газов или газ. В зависимости от свойств технологического газа  плазма может обладать разным действием. Соответственно, используется большое количество различных газов.  Наиболее важные технологические газы: кислород, водород, тетрафторметан, аргон, гелий, гексафторид серы, воздух, вода, ...