Gas del proceso

El gas del proceso es el gas o la mezcla de gas que se utiliza para excitar el plasma. En función de las características del gas del proceso, pueden lograrse efectos del plasma muy distintos. En consecuencia, se emplea un gran número de gases de proceso.  Principales gases de proceso: oxígeno, hidrógeno, tetrafluorometano, argón, helio, hexafluoruro de azufre, aire, agua...